天津北方網(wǎng)訊：近日，清華大學(xué)天津電子信息研究院（以下簡(jiǎn)稱“清華電子院”） 作為第一完成單位，聯(lián)合清華大學(xué)、清華電子院孵化企業(yè)天津華慧芯科技集團(tuán)有限公司等單位研發(fā)的“微納結(jié)構(gòu)光電子芯片關(guān)鍵制備工藝及應(yīng)用”成果獲評(píng)2022年度天津市技術(shù)發(fā)明特等獎(jiǎng)。

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據(jù)悉，該項(xiàng)目獎(jiǎng)勵(lì)是清華電子院首次作為第一完成單位獲得的省部級(jí)技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)。項(xiàng)目主要完成人清華大學(xué)學(xué)術(shù)委員會(huì)副主任、清華電子院特聘院長(zhǎng)黃翊東與天津華慧芯科技集團(tuán)有限公司董事長(zhǎng)曲迪接受津云專訪。

“光電子芯片和微電子芯片特別不一樣，它的種類非常多，涉及材料面廣、制程復(fù)雜，而且無(wú)法使用成熟的CMOS工藝。很多新型的光電子芯片，目前在國(guó)際上也還處于尚未形成產(chǎn)品的研發(fā)階段，這就給我們提供了非常難得的發(fā)展機(jī)遇?！秉S翊東說(shuō)。

但在發(fā)展過(guò)程中，面臨許多難題，“要發(fā)展微納結(jié)構(gòu)光電子芯片，無(wú)論是前沿的創(chuàng)新研究，還是成果的產(chǎn)業(yè)落地，都亟需解決它在制備工藝上面臨的短板。”黃翊東進(jìn)一步說(shuō)。

回國(guó)后，黃翊東為了發(fā)展光電子芯片產(chǎn)業(yè)著手培養(yǎng)相關(guān)領(lǐng)域人才，曲迪就是黃翊東培養(yǎng)的眾多學(xué)生中的一位。

近20年來(lái)，黃翊東堅(jiān)持不懈帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)從微納結(jié)構(gòu)光電特性的物理機(jī)理出發(fā)，梳理構(gòu)成微納光電子芯片的主要基本結(jié)構(gòu)及其核心工藝，針對(duì)光子晶體、表面等離激元、光聲微腔等典型的微納光電子結(jié)構(gòu)，取得了相關(guān)關(guān)鍵制備工藝的創(chuàng)新突破。

此次獲獎(jiǎng)的成果在國(guó)際上處于領(lǐng)先水平。黃翊東說(shuō)：“光子晶體刻蝕的側(cè)壁鈍化/側(cè)蝕動(dòng)態(tài)平衡技術(shù)，解決了光子晶體制備工藝中刻蝕側(cè)壁傾斜的難題；磁控濺射離子密度/速度均衡調(diào)控技術(shù)，解決表面等離激元所需納米級(jí)金屬薄膜厚度、表面起伏難以精準(zhǔn)控制的難點(diǎn)；低表面張力的片上懸臂梁制備工藝，解決了納米懸臂梁極易坍塌而無(wú)法制備具有足夠腔長(zhǎng)的光聲微腔這一難點(diǎn)。”

談到對(duì)光電子芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的促進(jìn)作用，黃翊東介紹說(shuō)：“項(xiàng)目成果為154家企業(yè)制備了高質(zhì)量的微納結(jié)構(gòu)光電子芯片，除光子晶體、表面等離激元波導(dǎo)、懸空結(jié)構(gòu)、納米線波導(dǎo)外，還有各種結(jié)構(gòu)的光柵，推動(dòng)了微納光電子芯片在產(chǎn)業(yè)上的應(yīng)用；為17家企業(yè)制備了54片4吋大微納結(jié)構(gòu)模板，用于產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)，推動(dòng)了微納光電子芯片的批量化產(chǎn)業(yè)進(jìn)程；為39家光電子領(lǐng)域高科技初創(chuàng)企業(yè)制備核心微納結(jié)構(gòu)光電子芯片，這39家初創(chuàng)企業(yè)總估值逾400億，集中了很多最新的科研成果，我們的芯片加工工藝推動(dòng)了微納光電子芯片創(chuàng)新研究的成果轉(zhuǎn)化。”

曲迪作為華慧芯的負(fù)責(zé)人，他說(shuō)：“目前，我們已經(jīng)為500余個(gè)科研團(tuán)隊(duì)的前沿研究和企業(yè)的新產(chǎn)品研發(fā)提供定制的微納結(jié)構(gòu)芯片加工和工藝研發(fā)服務(wù)，不斷助力高校及科研院所科技前沿研究，推動(dòng)企業(yè)在研產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程?！?/p>

據(jù)悉，2022年5月，清華電子院光電子芯片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目（華慧芯二期）落地天津生態(tài)城濱海旅游科技產(chǎn)業(yè)園，項(xiàng)目投產(chǎn)后，可規(guī)模生產(chǎn)激光器、調(diào)制器、超結(jié)構(gòu)等高端光電子芯片，面向光通信、自動(dòng)駕駛、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)等領(lǐng)域?qū)Ω叨斯怆娮有酒男枨?，帶?dòng)區(qū)域光電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

談起下一步規(guī)劃，曲迪說(shuō)：“眼下，我們光電子芯片的生產(chǎn)線即將投產(chǎn)，計(jì)劃導(dǎo)入激光器、薄膜鈮酸鋰調(diào)制器等產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)高端光電子芯片的規(guī)?；a(chǎn)?！?/p>

黃翊東表示，項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)取得今天的成績(jī)，離不開(kāi)京津冀協(xié)同發(fā)展，相信在天津，該項(xiàng)目一定能發(fā)揮對(duì)天津市芯片產(chǎn)業(yè)鏈“補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈”作用，對(duì)推動(dòng)光電子產(chǎn)業(yè)生態(tài)發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)。（津云新聞?dòng)浾?苑美麗）